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Atomic layer deposition reactor for fabrication of metal oxides

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Metadaten
Author: Krzysztof Kolanek, Massimo TallaridaORCiD, Marcel Michling, Konstantin Karavaev, Dieter SchmeißerORCiD
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2011
Quelle aus UBICO:Physica Status Solidi C 8 (2011) 1287-1292, 1610-1634
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
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