Interface Reactions in Ultrathin Functional Dielectric Films
Author: | Dieter SchmeißerORCiD, Karsten HenkelORCiDGND, Klaus Müller, Massimo TallaridaORCiD |
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Document Type: | Scientific journal article peer-reviewed |
Language: | English |
Year of publication: | 2009 |
Tag: | dielectric; ultrathin |
Quelle aus UBICO: | Advanced Engineering Materials 11(2009)4, S. 269-274, 1527-2648 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |