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Encapsulation of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers Using Viscoelastic Polymer

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Metadaten
Author: Der-Song Lin, Xuefeng Zhuang, Serena H. Wong, Mario Kupnik, Butrus T. Khuri-Yakub
DOI:https://doi.org/10.1109/JMEMS.2010.2076786
ISSN:1941-0158
Title of the source (English):Journal of Microelectromechanical Systems
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2010
Volume/Year:19
Issue number:6
First Page:1341
Last Page:1351
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Elektronische Systeme und Sensorik
Institution name at the time of publication:Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Allgemeine Elektrotechnik und Messtechnik
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