Atomic layer deposition reactor for fabrication of metal oxides
Author: | Krzysztof Kolanek, Massimo TallaridaORCiD, Marcel Michling, Konstantin Karavaev, Dieter SchmeißerORCiD |
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Document Type: | Scientific journal article peer-reviewed |
Language: | English |
Year of publication: | 2011 |
Quelle aus UBICO: | Physica Status Solidi C 8 (2011) 1287-1292, 1610-1634 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |