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In situ measurements of the atomic layer deposition of high-k dielectrics by atomic force microscope for advanced microsystems

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Metadaten
Author: Krzysztof Kolanek, Massimo TallaridaORCiD, Konstantin Karavaev, Dieter SchmeißerORCiD
ISBN:978-1-4244-4303-1
Title of the source (English):International Students and Young Scientists Workshop "Photonics and Microsystems", 2009, 25 - 27 June 2009, Harz University, Wernigerode, Germany
Publisher:IEEE
Place of publication:Piscataway, NJ
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2009
Tag:atomic layer deposition; high-k dielectrics; microsystems
First Page:47
Last Page:51
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
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