Atomic layer deposition of nanolaminate oxide films on Si
Author: | Massimo TallaridaORCiD, Martin Weisheit, Krzysztof Kolanek, Marcel Michling, Hans-Jürgen Engelmann, Dieter SchmeißerORCiD |
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DOI: | https://doi.org/10.1007/s11051-011-0319-x |
Title of the source (English): | Journal of Nanoparticle Research |
Document Type: | Scientific journal article peer-reviewed |
Language: | English |
Year of publication: | 2011 |
Volume/Year: | 13 |
Issue number: | 11 |
First Page: | 5975 |
Last Page: | 5983 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |