Sandstrahlen in der Mikrosystemtechnik
Author: | M. Bothen, Lothar Kiesewetter |
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ISSN: | 0944-1018 |
Title of the source (English): | F & M |
Document Type: | Article |
Language: | English |
Year of publication: | 2001 |
Volume/Year: | 109 |
Issue number: | 3 |
First Page: | 74 |
Last Page: | 77 |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Mikrosystemtechnik |