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Sandstrahlen in der Mikrosystemtechnik

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Metadaten
Author: M. Bothen, Lothar Kiesewetter
ISSN:0944-1018
Title of the source (English):F & M
Document Type:Article
Language:English
Year of publication:2001
Volume/Year:109
Issue number:3
First Page:74
Last Page:77
Institution name at the time of publication:Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Mikrosystemtechnik
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