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CMUT fabrication based on a thick buried oxide layer

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Metadaten
Author: Mario Kupnik, Srikant Vaithilingam, Kazutoshi Torashima, Ira O. Wygant, Butrus T. Khuri-Yakub
ISBN:978-1-4577-0381-2
Title of the source (English):IEEE International Ultrasonics Symposium proceedings
Publisher:IEEE
Place of publication:Piscataway, NJ
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2010
First Page:547
Last Page:550
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Elektronische Systeme und Sensorik
Institution name at the time of publication:Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Allgemeine Elektrotechnik und Messtechnik
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