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Translatory MOEMS actuator and system integration for miniaturized Fourier transform spectrometers

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Metadaten
Author: Thilo Sandner, Thomas Grashoff, E. Gaumont, Harald SchenkORCiD, Andreas Kenda
ISSN:1932-5134
Title of the source (English):Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
Document Type:Scientific journal article not peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2014
Contributing Corporation:Fraunhofer IPMS
Volume/Year:13
Issue number:1
First Page:011115-1
Last Page:011115-14
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Mikro- und Nanosysteme
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