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Acoustic validation of electrostatic all-silicon MEMS-speakers

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Author: Lutz Ehrig, Bert Kaiser, Hermann Schenk, Michael Stolz, Sergiu Langa, Holger Conrad, Harald SchenkORCiD, Andreas Männchen, Tobias Brocks
URL:https://www.aes.org/e-lib/browse.cfm?elib=20522
DOI:https://doi.org/10.17743/aesconf.2019.978-1-942220-29-9
Title of the source (English):AES International Conference on Headphone Technology, San Francisco, New York, USA, 2019
Document Type:Conference publication not peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2019
Article number:Paper 10
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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