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Comparison of Fluorinated and Non-Fluorinated Novel Low-k Polycyanurates for Integrated Circuit (IC) Metallization

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Metadaten
Author: Monika BauerGND, Christian DreyerORCiD, Olaf Kahle, U. Schuldt, C. Uhlig, K. Schulze, Stefan E. Schulz, M. Uhlig, Thomas Geßner
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2006
Quelle aus UBICO:Fluoropolymer 2006, Preprints
Faculty/Chair:Fakultät 2 Umwelt und Naturwissenschaften / FG Polymermaterialien
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Polymermaterialien
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