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Kinetic Interpretation of Resonance Phenomena in Low Pressure Capacitively Coupled Radio Frequency Plasmas

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Author: Sebastian Wilczek, Jan TrieschmannORCiD, Denis Eremin, Ralf Peter Brinkmann, Julian SchulzeORCiD, Edmund Schuengel, Aranka Derzsi, Ihor Korolov, Peter Hartmann, Zoltán Donkó, Thomas MussenbrockORCiDGND
DOI:https://doi.org/10.1063/1.4953432
ISSN:1070-664X
ISSN:1089-7674
Title of the source (English):Physics of Plasmas
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2016
Volume/Year:23
Issue number:6
First Page:063514
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Theoretische Elektrotechnik
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