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Combined experimental and theoretical description of direct current magnetron sputtering of Al by Ar and Ar/N₂ plasma

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Metadaten
Author: Jan TrieschmannORCiD, Stefan Ries, Nikita Bibinov, Peter AwakowiczGND, Stanislav Mráz, Jochen M. Schneider, Thomas MussenbrockORCiDGND
DOI:https://doi.org/10.1088/1361-6595/aac23e
Title of the source (English):Plasma Sources Science and Technology
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2018
Volume/Year:27
Issue number:5
Number of pages:14
Article number:ID 054003
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Theoretische Elektrotechnik
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