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Multi Frequency Matching for Voltage Waveform Tailoring

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Author: Frederik Schmidt, Julian SchulzeORCiD, Erik Johnson, Jean-Paul Booth, Douglas Keil, David M. French, Jan TrieschmannORCiD, Thomas MussenbrockORCiDGND
DOI:https://doi.org/10.1088/1361-6595/aad2cd
ISSN:0963-0252
ISSN:1361-6595
Title of the source (English):Plasma Sources Science and Technology
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2018
Volume/Year:27
Issue number:9
Number of pages:10
Article number:095012
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Theoretische Elektrotechnik
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