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Neutral Gas Simulation on the Influence of Rotating Spokes on Gas Rarefaction in High-Power Impulse Magnetron Sputtering

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Metadaten
Author: Jan TrieschmannORCiD
DOI:https://doi.org/10.1002/ctpp.201700062
ISSN:1521-3986
Title of the source (English):Contributions to Plasma Physics
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2018
Volume/Year:58
Issue number:5
First Page:394
Last Page:403
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Theoretische Elektrotechnik
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