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Species transport on the target during high power impulse magnetron sputtering

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Author: Vincent Layes, Sascha Monje, Carles Corbella, Jan TrieschmannORCiD, Teresa de los Arcos, Achim von Keudell
DOI:https://doi.org/10.1063/1.4976999
ISSN:1077-3118
Title of the source (English):Applied Physics Letters
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2017
Volume/Year:110
Issue number:8
Number of pages:4
Article number:ID 081603
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Theoretische Elektrotechnik
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