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Analytic model of the energy distribution for energetic electrons in HiPIMS

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Author: Sara Gallian, Jan TrieschmannORCiD, Thomas MussenbrockORCiDGND, William N. G. Hitchon, Ralf Peter Brinkmann
DOI:https://doi.org/10.1109/PLASMA.2015.7179892
ISBN:978-1-4799-6974-6
Title of the source (English):2015 IEEE International Conference on Plasma Sciences (ICOPS), 24 - 28 May 2015, Belek, Antalya, Turkey
Publisher:IEEE
Place of publication:Piscataway, NJ
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2015
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Theoretische Elektrotechnik
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