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Quasi-static microscanner with linearized raster scanning for an adaptive 3D-laser camera

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Metadaten
Author: Thilo Sandner, Thomas Grashoff, Markus Schwarzenberg, R. Schroedter, Harald SchenkORCiD
ISBN:978-0-8194-9890-8
Title of the source (English):SPIE Conference: MOEMS and Miniaturized Systems XIII, San Francisco, 2014
Publisher:SPIE Press
Place of publication:Bellingham
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2014
Contributing Corporation:Fraunhofer IPMS
First Page:897717-1
Last Page:897717-9
Series ; volume number:Proceedings of SPIE ; 8977
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Mikro- und Nanosysteme
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