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MEMS converter for interacting with a volume flow of a fluid and method of manufacturing the same

MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben

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Metadaten
Author: Harald SchenkORCiD, Holger Conrad
Document Type:Patent
Language:English
Year of publication:2018
Patent number:DE 10 2017 206 766
Patent number:WO18193109
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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