MEMS converter for interacting with a volume flow of a fluid and method of manufacturing the same
MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben
Author: | Harald SchenkORCiD, Holger Conrad |
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Document Type: | Patent |
Language: | English |
Year of publication: | 2018 |
Patent number: | DE 10 2017 206 766 |
Patent number: | WO18193109 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme |