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Minimization of nonlinearities in nano electrostatic drive actuators using validated coupled-field simulation

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Metadaten
Author: Anton MelnikovORCiD, Hermann Schenk, Franziska Wall, Barbara Spitz, Lutz Ehrig, Sergiu Langa, Bert Kaiser, Holger Conrad, Harald SchenkORCiD, Michael Stolz
DOI:https://doi.org/10.1117/12.2551271
Title of the source (English):SPIE Conference: MOEMS and Miniaturized Systems XIX, San Francisco, USA, 2020, Proc. SPIE 11293
Document Type:Conference publication not peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2020
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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