MetadatenAuthor: | Jan Grahmann, André Merten, Ralf Ostendorf, M. Fontenot, Daniela Bleh, Harald SchenkORCiD, Hans-Joachim Wagner |
---|
ISBN: | 978-0-8194-9890-8 |
---|
Title of the source (English): | SPIE Conference: MOEMS and Miniaturized Systems XIII, San Francisco, 2014 |
---|
Publisher: | SPIE Press |
---|
Place of publication: | Bellingham |
---|
Document Type: | Scientific journal article not peer-reviewed |
---|
Language: | English |
---|
Year of publication: | 2014 |
---|
Contributing Corporation: | Fraunhofer IPMS |
---|
First Page: | 897708-1 |
---|
Last Page: | 897708-11 |
---|
Series ; volume number: | Proceedings of SPIE ; 8977 |
---|
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme |
---|
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Mikro- und Nanosysteme |
---|