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Investigations of perspective materials for aggressively scaled gate stacks and contact structures of MOS devices

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Metadaten
Author: Andriy Goryachko
URN:urn:nbn:de:kobv:co1-000000342
URL:http://opus4.kobv.de/opus4-btu/frontdoor/index/index/docId/59
Document Type:Doctoral thesis
Language:English
Year of publication:2002
Tag:Angerelection spectroscopy; cobalt silicide; praseodymium oxide; scanning tunneling microscopy; silicon; tungsten nitride; tungsten silicide
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
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