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Electrostatically in-plane driven silicon micropump for modular configuration

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Metadaten
Author: Sebastian Uhlig, Matthieu Gaudet, Sergiu Langa, Klaus Schimmanz, Holger Conrad, Bert Kaiser, Harald SchenkORCiD
URL:http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-477736.html
Title of the source (English):Conference proceedings, The 3rd Conference on MicroFluidic Handling Systems (MFHS 2017), 4 - 6 October 2017, Enschede, The Netherlands
Publisher:University of Twente
Place of publication:Enschede
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2017
First Page:57
Last Page:60
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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