Mikromechanical devices with mechanical actuators
Mikromechanische Bauelemente mit mechanischen Aktuatoren
Author: | Holger Conrad, Matthieu Gaudet, Harald SchenkORCiD, Sebastian Uhlig |
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Document Type: | Patent |
Language: | English |
Year of publication: | 2018 |
Patent number: | DE 102017200308 |
Patent number: | WO 2018130527 |
Patent number: | US 2019337798 |
Patent number: | CN 110475971 |
Patent number: | EP 3568595 A1 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme |