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Mikromechanical devices with mechanical actuators

Mikromechanische Bauelemente mit mechanischen Aktuatoren

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Metadaten
Author: Holger Conrad, Matthieu Gaudet, Harald SchenkORCiD, Sebastian Uhlig
Document Type:Patent
Language:English
Year of publication:2018
Patent number:DE 102017200308
Patent number:WO 2018130527
Patent number:US 2019337798
Patent number:CN 110475971
Patent number:EP 3568595 A1
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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