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Electrostatic bending actuators with liquid filled nanometer scale gap

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Metadaten
Author: Matthieu Gaudet, Sebastian Uhlig, Michael Stolz, S. Arscott, Holger Conrad, Sergiu Langa, Bert Kaiser, Harald SchenkORCiD
URL:http://ieeexplore.ieee.org/document/7863369/
ISBN:978-1-5090-5078-9
ISBN:978-1-5090-5079-6
Title of the source (English):MEMS 2017, the 30th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Las Vegas, Nevada, USA, January 22-26 2017
Publisher:IEEE
Place of publication:Piscataway, NJ
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2017
First Page:175
Last Page:178
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Mikro- und Nanosysteme
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