MetadatenAuthor: | J. Bauer, Yuji Yamamoto, Peter Zaumseil, Oksana Fursenko, K. Schulz, Grzegorz Kozłowski, Markus Andreas Schubert, Thomas Schroeder, B. Tillack |
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ISSN: | 0167-9317 |
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Title of the source (English): | Microelectronics Engineering |
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Document Type: | Scientific journal article peer-reviewed |
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Language: | English |
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Year of publication: | 2012 |
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Volume/Year: | 97 |
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First Page: | 169 |
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Last Page: | 172 |
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Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Halbleitermaterialien |
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Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Halbleitermaterialien |
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