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Nanostructured Silicon for Ge Nanoheteroepitaxy

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Metadaten
Author: J. Bauer, Yuji Yamamoto, Peter Zaumseil, Oksana Fursenko, K. Schulz, Grzegorz Kozłowski, Markus Andreas Schubert, Thomas Schroeder, B. Tillack
ISSN:0167-9317
Title of the source (English):Microelectronics Engineering
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2012
Volume/Year:97
First Page:169
Last Page:172
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Halbleitermaterialien
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Halbleitermaterialien
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