Silicate Formation at the Interface of High-k Dielectrics and Si(001) Surfaces
Author: | Dieter SchmeißerORCiD, Fan Zheng, Franz J. Himpsel, Hans-Jürgen Engelmann, Ehrenfried ZschechORCiD |
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Document Type: | Conference Proceeding |
Language: | English |
Year of publication: | 2006 |
Quelle aus UBICO: | MRS Proceedings 917( 2006), E10-02 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |