MetadatenAuthor: | S. Heim, Daniel Friedrich, P. Guttmann, S. Rehbein, Dmytro Chumakov, Y. Ritz, G. Schneider, Dieter SchmeißerORCiD, Ehrenfried ZschechORCiD |
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URL: | http://link.aip.org/link/?APCPCS/1143/20/1 |
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Document Type: | Conference Proceeding |
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Language: | English |
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Year of publication: | 2009 |
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Tag: | Interconnects; Microscopy; x-ray |
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Quelle aus UBICO: | AIP conference proceedings 1143(2009)1, S. 20-30, 1551-7616 |
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Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
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Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |
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