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Nano-scale analysis using synchrotron-radiation: Applications in the semiconductor industry

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Metadaten
Author: Ehrenfried ZschechORCiD, Holm Geisler, Jochen Rinderknecht, Gerd Schneider, Ralph Spolenak, Dieter SchmeißerORCiD
ISSN:1573-4137
Title of the source (English):Current nanoscience
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2008
Tag:semiconductor; synchrotron-radiation
Volume/Year:4
Issue number:3
First Page:256
Last Page:266
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
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