Nano-scale analysis using synchrotron-radiation: Applications in the semiconductor industry
Author: | Ehrenfried ZschechORCiD, Holm Geisler, Jochen Rinderknecht, Gerd Schneider, Ralph Spolenak, Dieter SchmeißerORCiD |
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ISSN: | 1573-4137 |
Title of the source (English): | Current nanoscience |
Document Type: | Scientific journal article peer-reviewed |
Language: | English |
Year of publication: | 2008 |
Tag: | semiconductor; synchrotron-radiation |
Volume/Year: | 4 |
Issue number: | 3 |
First Page: | 256 |
Last Page: | 266 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |