MetadatenAuthor: | Piotr T. Dudek, Grzegorz Lupina, Grzegorz Kozłowski, Peter Zaumseil, Jakob Bauer, Oksana Fursenko, Jarek Marek Dabrowski, R. Schmidt, Gunther Lippert, Hans-Joachim Müssig, Thomas Schröder, Dieter SchmeißerORCiD, Ehrenfried ZschechORCiD |
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ISSN: | 2166-2754 |
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Title of the source (English): | Journal of Vacuum Science and Technology / B |
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Document Type: | Scientific journal article peer-reviewed |
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Language: | English |
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Year of publication: | 2011 |
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Volume/Year: | 29 |
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Issue number: | 1 |
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Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
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Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |
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