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Novel Carbon-cage based ultralow-k materials: Modelling and first experiments

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Metadaten
Author: Kostyantyn Zagorodniy, Dmytro Chumakov, Christine Täschner, Anna Lukowiak, Heiko Stegmann, Dieter SchmeißerORCiD, Holm Geisler, Hans-Jürgen Engelmann, Helmut Hermann, Ehrenfried ZschechORCiD
DOI:https://doi.org/10.1109/TSM.2008.2005396
Document Type:Scientific journal article not peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2008
Tag:carbon-cage; ultralow-k
Quelle aus UBICO:IEEE Transaction on Semiconductor Manufacturing 21(2008)4, S. 646-660, 0894-6507
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
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