MetadatenAuthor: | Kostyantyn Zagorodniy, Dmytro Chumakov, Christine Täschner, Anna Lukowiak, Heiko Stegmann, Dieter SchmeißerORCiD, Holm Geisler, Hans-Jürgen Engelmann, Helmut Hermann, Ehrenfried ZschechORCiD |
---|
DOI: | https://doi.org/10.1109/TSM.2008.2005396 |
---|
Document Type: | Scientific journal article not peer-reviewed |
---|
Language: | English |
---|
Year of publication: | 2008 |
---|
Tag: | carbon-cage; ultralow-k |
---|
Quelle aus UBICO: | IEEE Transaction on Semiconductor Manufacturing 21(2008)4, S. 646-660, 0894-6507 |
---|
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
---|
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |
---|