• search hit 2 of 30
Back to Result List

Atomic-scale engineering of future high-k dynamic random access memory dielectrics: The example of partial Hf substitution by Ti in BaHfO3

Export metadata

Additional Services

Search Google Scholar
Metadaten
Author: Piotr T. Dudek, Grzegorz Lupina, Grzegorz Kozłowski, Peter Zaumseil, Jakob Bauer, Oksana Fursenko, Jarek Marek Dabrowski, R. Schmidt, Gunther Lippert, Hans-Joachim Müssig, Thomas Schröder, Dieter SchmeißerORCiD, Ehrenfried ZschechORCiD
ISSN:2166-2754
Title of the source (English):Journal of Vacuum Science and Technology / B
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2011
Volume/Year:29
Issue number:1
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
Einverstanden ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.