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Silicate Formation at the Interface of Hf-Oxide and Pr-Oxide as a High-k Dielectric and Si(001) surfaces

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Metadaten
Author: Dieter SchmeißerORCiD, Ehrenfried ZschechORCiD
Document Type:Article
Language:English
Year of publication:2006
Quelle aus UBICO:Materials Science in Semiconductor Processing 9(2006)6, S. 934-939, 1369-8001
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
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