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Micro-Raman in vestigation of mechanical stress in Si device structures and phonons in SiGe

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Metadaten
Author: Kai F. Dombrowski
URN:urn:nbn:de:kobv:co1-000000031
Document Type:Doctoral thesis
Language:English
Year of publication:2000
Tag:Elastische Spannung; Raman-Spektroskopie; Siliciumbauelement
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Experimentalphysik / Halbleiterphysik / Mikrosysteme (ehemals)
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