Micro-Raman in vestigation of mechanical stress in Si device structures and phonons in SiGe
Author: | Kai F. Dombrowski |
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URN: | urn:nbn:de:kobv:co1-000000031 |
Document Type: | Doctoral thesis |
Language: | English |
Year of publication: | 2000 |
Tag: | Elastische Spannung; Raman-Spektroskopie; Siliciumbauelement |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Experimentalphysik / Halbleiterphysik / Mikrosysteme (ehemals) |