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Application of r.f. plasma ultrashallow nitrogen ion implantation for pedestal oxynitride layer formation

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Metadaten
Author: Tomasz Bieniek, Romuald B. Beck, Andrzej Jakubowski, Piotr Konarski, M. Cwil, Patrick Hoffmann, Dieter SchmeißerORCiD
Document Type:Article
Language:English
Year of publication:2008
Tag:oxynitride; ultrashallow
Quelle aus UBICO:Vacuum 82(2008)10, S. 1020-1028, 0042-207X
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
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