MetadatenAuthor: | Tomasz Bieniek, Romuald B. Beck, Andrzej Jakubowski, Piotr Konarski, M. Cwil, Patrick Hoffmann, Dieter SchmeißerORCiD |
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Document Type: | Article |
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Language: | English |
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Year of publication: | 2008 |
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Tag: | oxynitride; ultrashallow |
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Quelle aus UBICO: | Vacuum 82(2008)10, S. 1020-1028, 0042-207X |
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Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
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Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |
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