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Formation of atomically smooth, ultrathin oxides on Si(113)

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Metadaten
Author: Hans-Joachim Müssig, Jarek Marek Dabrowski, S. Hinrich
ISSN:0038-1101
Title of the source (German):Solid state electronics
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2001
Volume/Year:45
Issue number:8
First Page:1219
Last Page:1231
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Systeme
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Systeme
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