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Interface chemistry of high-k PrxAl2-xO3 (x=2-0) dielectrics on TiN for dynamic random access memory applications

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Metadaten
Author: Rakesh Sohal, Grzegorz Lupina, Gunther Lippert, Christian WengerORCiD, Olaf Seifarth, Thomas Schröder, Massimo TallaridaORCiD, Dieter SchmeißerORCiD
Document Type:Article
Language:English
Year of publication:2008
Tag:dielectric; high-k; random
Quelle aus UBICO:BESSY annual report 2007, S. 197-198
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
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