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Fabrication of capacitive micromachined ultrasonic transducers via local oxidation and direct wafer bonding

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Metadaten
Author: Kwan Kyu Park, Hyunjoo J. Lee, Mario Kupnik, Butrus T. Khuri-Yakub
DOI:https://doi.org/10.1109/JMEMS.2010.2093567
ISSN:1941-0158
Title of the source (English):Journal of Microelectromechanical Systems
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2011
Volume/Year:20
Issue number:1
First Page:95
Last Page:103
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Elektronische Systeme und Sensorik
Institution name at the time of publication:Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Allgemeine Elektrotechnik und Messtechnik
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