Direct wafer-bonded 2D CMUT array
Author: | Mario Kupnik, Butrus T. Khuri-Yakub |
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URL: | https://www.google.com/patents/US7846102 |
Document Type: | Patent |
Language: | English |
Year of publication: | 2010 |
Patent number: | US 7846102 B2 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Elektronische Systeme und Sensorik |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Maschinenbau, Elektrotechnik und Wirtschaftsingenieurwesen (eBTU) / LS Allgemeine Elektrotechnik und Messtechnik |