Al-Oxyxynitride interfacial layer investigations for PrXOY on SiC and Si
Author: | Karsten HenkelORCiDGND, Konstantin Karavaev, Mohamed Torche, Carola Schwiertz, Yevgen Burkov, Dieter SchmeißerORCiD |
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Document Type: | Article |
Language: | English |
Year of publication: | 2008 |
Quelle aus UBICO: | Journal of Physics: Conference Series 94 (2008) 012004 |
Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |