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Pr-O-Al-N dielectrics for metal insulator semiconductor stacks

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Metadaten
Author: Karsten HenkelORCiDGND, Mohamed Torche, Rakesh Sohal, Konstantin Karavaev, Yevgen Burkov, Carola Schwiertz, Dieter SchmeißerORCiD
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2011
Tag:dielectric; semiconductor
Quelle aus UBICO:Physica Status Solidi A 208(2011)2, S. 317-329, 1521-396X
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
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