• search hit 9 of 30
Back to Result List

Al-Oxynitride as a buffer layer for high-k dielectrics

Export metadata

Additional Services

Search Google Scholar
Metadaten
Author: Karsten HenkelORCiDGND, Yevgen Burkov, Matthias Bergholz, Konstantin Karavaev, Rakesh Sohal, Mohamed Torche, Dieter SchmeißerORCiD
Title of the source (English):Proceedings of 15th Workshop on Dielectrics in Microelectronics, Bad Saarow, 23 - 25 June 2008, Bad Saarow (Berlin)
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of publication:2008
Tag:buffer layer; dielectric; high-k
First Page:161
Last Page:162
Faculty/Chair:Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie
Institution name at the time of publication:Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik
Einverstanden ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.