MetadatenAuthor: | Karsten HenkelORCiDGND, Yevgen Burkov, Matthias Bergholz, Konstantin Karavaev, Rakesh Sohal, Mohamed Torche, Dieter SchmeißerORCiD |
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Title of the source (English): | Proceedings of 15th Workshop on Dielectrics in Microelectronics, Bad Saarow, 23 - 25 June 2008, Bad Saarow (Berlin) |
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Document Type: | Conference Proceeding |
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Language: | English |
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Year of publication: | 2008 |
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Tag: | buffer layer; dielectric; high-k |
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First Page: | 161 |
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Last Page: | 162 |
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Faculty/Chair: | Fakultät 1 MINT - Mathematik, Informatik, Physik, Elektro- und Informationstechnik / FG Angewandte Physik und Halbleiterspektroskopie |
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Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Angewandte Physik / Sensorik |
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