Nonlinear optical characterization of the surface of silicon wafers: In-situ detection of external stress
| Author: | Jürgen ReifGND, Reiner P. Schmid, Thomas Schneider, Dirk Wolfframm |
|---|---|
| Document Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of publication: | 2000 |
| Quelle aus UBICO: | Solid-State Electronics 44(2000)5, S. 809 - 813, 0038-1101 |
| Faculty/Chair: | Fakultät 2 Umwelt und Naturwissenschaften / AG Physikalische Chemie II |
| Institution name at the time of publication: | Fakultät für Mathematik, Naturwissenschaften und Informatik (eBTU) / LS Leichtbau-Keramik |
