TY - THES A1 - Wolansky, Dirk T1 - Niedertemperaturepitaxie zur Herstellung von SiGe/Si-HBTs KW - Epitaxie KW - SiGe KW - HBT KW - CVD Y1 - 2003 U6 - http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:kobv:co1-000000408 ER -