TY - PAT A1 - Brinkmann, Ralf Peter A1 - Oberrath, Jens A1 - Awakowicz, Peter A1 - Lapke, Martin A1 - Musch, Thomas A1 - Mussenbrock, Thomas A1 - Rolfes, Ilona A1 - Schulz, Christian A1 - Storch, Robert A1 - Styrnoll, Tim A1 - Zietz, Christian T1 - Device and Use of the Device for Measuring the Density and/or the Electron Temperature and/or the Collision Frequency of a Plasma Y1 - 2011 ER - TY - GEN A1 - Musch, Thomas A1 - Hübner, Michael A1 - Gebhardt, Patrick A1 - Abrolat, Jan Christoph A1 - Gevers, Martin A1 - Vogt, Michael T1 - Tomografische Verfahren für intelligente Sensoren in der Prozessautomatisierung T2 - atp plus : das Magazin der Automatisierungstechnik : Sonderausgabe Y1 - 2016 SN - 2510-3911 VL - 1 SP - 34 EP - 41 ER -