TY - CHAP A1 - Studener, Johannes A1 - Kühhorn, Arnold T1 - FE-Untersuchungen zum dynamischen Verhalten einer integralen Verdichterschaufelscheibe neuer Generation T2 - Tagungsband, 14. deutschsprachiges ABAQUS Anwendertreffen, 23. - 24. September 2002 in Wiesbaden N2 - Eigenwertanalyse eines FE-Modells unter Berücksichtigung des Kopplungsverhaltens zwischen Schaufel und Scheibe KW - BLISK KW - Verdichterstufe Y1 - 2002 PB - Abacom Software GmbH CY - Aachen ER - TY - JOUR A1 - Kühhorn, Arnold A1 - Beirow, Bernd A1 - Studener, Johannes T1 - Messtechnische Beanspruchungsuntersuchungen beim Transport von Glasröhrenkollektoren KW - Beanspruchungsuntersuchungen KW - Glasröhrenkollektoren Y1 - 2003 ER - TY - CHAP A1 - Studener, Johannes A1 - Kühhorn, Arnold T1 - Thermomechanische Simulation des Annealprozesses von großen Siliziumwafern T2 - Tagungsband, 17. Deutschsprachige ABAQUS-Benutzerkonferenz 2005, 19. - 20. September 2005, Nürnberg KW - Annealprozess KW - Siliziumwafer Y1 - 2005 PB - ABAQUS Deutschland GmbH CY - Aachen [u.a.] ER - TY - THES A1 - Studener, Johannes T1 - Zur thermomechanischen Modellierung von Annealprozessen für große Silizium-Waferscheiben N2 - Diese Arbeit beschäftigt sich mit einem Prozeßschritt bei der Herstellung von Siliziumwafern, welche als Ausgangsprodukt für Halbleiterbauelemente dienen. Die Wafer durchlaufen bei der Herstellung unterschiedliche Prozesse, unter anderem das Annealing. Während des Anneals werden intrinsische Kristalldefekte, sog. Crystal originated Pits (COPs), bei über 1000°C thermisch aufgelöst. Der Temperaturbereich liegt dabei 200-300 °C unterhalb der Schmelztemperatur von Silizium. Demzufolge ist die Fließgrenze extrem herabgesetzt, so daß es infolge mechanischer und thermischer Belastungen zum Vergleiten (Fließen) im Kristallgitter und damit zur Qualitätsbeeinträchtigung kommen kann. Es wird erstmals aus mechanischer Sicht der komplexe Annealprozeß mit allen Einzelaspekten simulatorisch abgebildet und quantitativ erfaßbar gemacht. Dabei wird zum Einen das Ziel verfolgt, ein Lagerungskonzept zu entwickeln, welches den Ansprüchen an Reinheit, Temperaturbeständigkeit und Herstellbarkeit gerecht wird und zum Anderen den gesamten Anneal - Prozeß so zu gestalten, daß die Ausbeute von Wafern pro Zeiteinheit maximiert wird, ohne mit unerwünschten Vergleitungen rechnen zu müssen. Die vorliegende Arbeit gliedert sich in einen Grundlagenteil und einen praktischen Teil. Wesentlich für die Erfassung des Prozesses im Simulationsmodell sind verschiedene Effekte, welche zunächst theoretisch anhand einfacher analytischer und numerischer Beispiele, sowie versuchstechnisch aufgearbeitet werden sollen. Die in der Arbeit untersuchten Effekte beziehen sich auf: - die besonderen Materialeigenschaften des Silizium - Einkristalls, insbesondere dessen temperaturabhängige Fließgrenze (Upper Yield Stress) - das Lagerungskonzept, verbunden mit Kontaktproblemen zwischen Wafer und Lager (Support) - das Biegeproblem im Wafer - das Aufheizproblem bedingt durch die Wärmeübertragungsmechanismen Strahlung (zwischen Ofenwand und Wafer/Support), Leitung (innerhalb des Wafers und des Supports) und Konvektion des Gases (innerhalb des Ofens) Im praktischen Teil soll der Anneal mit Hilfe von Simulationssoftware (Finite Elemente Methode, Computational Fluid Dynamics), durch Optimierung der Lagerung und des Aufheizprozesses verbessert werden. Für die Bearbeitung dieses Kapitels werden die Untersuchungen aus dem theoretischen Teil der Arbeit als Referenz herangezogen. KW - Modellierung KW - Aneealprozesse KW - Silizium-Waferscheiben Y1 - 2006 SN - 978-3-89959-502-4 PB - Der Andere Verlag CY - Uelvesbüll ER - TY - JOUR A1 - Kühhorn, Arnold A1 - Beirow, Bernd A1 - Golze, Mark A1 - Studener, Johannes T1 - Strukturmechanische Analyse einer Triebwerksverdichter-Schaufelscheibe N2 - Die Verbesserung von Kalibriermethoden für Hochdruckverdichterstufen in ausgeführter Integralbauweise verlangt von den Ingenieuren ein detaillierteres Verständnis der strukturdynamischen Zusammenhänge dieses komplexen Bauteils. Als Ausgangsbasis werden zunächst für das perfekte Normdesign bei Ausnutzung der vorliegenden zyklischen Rotationssymmetrie numerische Ergebnisse vorgestellt. Dabei stehen bezüglich des Schwingverhaltens die Kopplungseffekte zwischen Scheibe und Schaufeln im Mittelpunkt, wobei experimentelle Untersu-chungen am realen Bauteil ergänzend hinzugezogen werden. Zukünftig wird in einem weiteren Schritt im Rahmen erheblich aufwendigerer Berechnungen mit der Berücksichtigung von Imperfektionen hinsichtlich der filigranen Schaufeln die Rotationssymmetrie aufgegeben und somit die Basis für eine gezielte Beeinflussung des Schwingverhaltens infolge von Mistuning - Effekten geschaffen. KW - FEM-Simulation KW - Experimentelle Modalanalysen KW - Kopplungseffekte Y1 - 2002 ER - TY - CHAP A1 - Studener, Johannes A1 - Kühhorn, Arnold T1 - FE-Simulation des thermischen Aufheizvorganges eines Silizium-Wafers im RTA (Rapid Thermal Anneal) - Prozess T2 - Tagungsband, 15. Deutschsprachige ABAQUS-Benutzerkonferenz, 22. - 23. September 2003, Fulda KW - Silizium-Wafer KW - RTA-Prozess KW - Simulation Y1 - 2003 PB - ABAQUS Deutschland GmbH CY - Aachen [u.a.] ER -