TY - PAT A1 - Langa, Sergiu A1 - Conrad, Holger A1 - Schenk, Harald A1 - Stolz, Michael T1 - Elektrostatisch auslenkbares mikromechanisches Bauelement Y1 - 2014 ER - TY - CHAP A1 - Conrad, Holger A1 - Ehrig, Lutz A1 - Kaiser, Bert A1 - Schenk, Hermann A1 - Schuffenhauer, David A1 - Stolz, Michael A1 - Gaudet, Matthieu A1 - Schenk, Harald T1 - CMOS-kompatibler MEMS-Lautsprecher für Im-Ohr-Anwendungen T2 - Tagungsband, DAGA 2018, 44. Deutsche Jahrestagung für Akustik, 19.-22. März 2018, München Y1 - 2018 SN - 978-3-939296-13-3 SP - 892 EP - 894 PB - Deutsche Gesellschaft für Akustik e.V. (DEGA) CY - Berlin ER - TY - GEN A1 - Stolz, Michael A1 - Mrosk, Andreas A1 - Kaiser, Bert A1 - Langa, Sergiu A1 - Ehrig, Lutz A1 - Conrad, Holger A1 - Gaudet, Matthieu A1 - Schenk, Harald T1 - Optische Charakterisierungsmethoden von siliziumbasierten MEMS mit verdeckten Strukturen T2 - MikroSystemTechnik-Kongress, Berlin, Germany, 2019 N2 - In der Arbeitsgruppe integrierte Siliziumsysteme des Fraunhofer IPMS werden am Standort Cottbus innovative Anwen-dungen eines neuartigen nanoskopischen elektrostatischen Antriebs (nanoskopic electrostatic drive – NED) untersucht. Eine der vielversprechendsten Anwendungen sind Lautsprecher. Vollständig aus Silizium gefertigte MEMS-Lautsprecher auf Basis von NED-Biegeaktoren werden vor den akustischen Messungen mechanisch und elektrisch cha-rakterisiert. Beidseitig eingespannte elektrostatisch betriebene in-plane NED-Aktoren werden dabei über einen Fre-quenzbereich von 20 Hz bis 20 kHz angeregt. Dabei sind die Strukturen oft verdeckt, was ihre Charakterisierung er-schwert. Es werden zerstörungsfreie optische Methoden präsentiert, mit deren Hilfe die Bestimmung der mechanischen Schwingungseigenschaften einzelner Aktoren ermöglicht wird sowie die Beweglichkeit im verdeckten Zustand nach-gewiesen werden kann. Y1 - 2019 UR - https://www.ipms.fraunhofer.de/de/events/2019/mst-kongress.html SP - 366 EP - 369 PB - VDE-Verlag ER - TY - GEN A1 - Spitz, Barbara A1 - Wall, Franziska A1 - Schenk, Hermann A1 - Melnikov, Anton A1 - Ehrig, Lutz A1 - Langa, Sergiu A1 - Stolz, Michael A1 - Kaiser, Bert A1 - Conrad, Holger A1 - Schenk, Harald A1 - Pufe, Wolfram T1 - Audio-Transducer für In-Ear-Anwendungen auf der Basis CMOS-kompatibler, elektrostatischer Biegeaktoren T2 - MikroSystemTechnik-Kongress, Berlin, Germany, 2019 N2 - Recently an innovative mSpeaker technology, based on a novel kind of CMOS compatible small gap electrostatic actuators for large deflection, has been introduced [1]. In this paper, we devise methods to model such speakers in terms of lumped parameters using the deflection of the beam centre as sole dynamic variable. Optical, acoustical and finite element methods (FEM) are used to validate the non-linear lumped parameter model (LPM). The experimental evaluation and LPM simulations of the total harmonic distortion reveal deeper insights into the mechanisms governing linearity. Y1 - 2019 SP - 54 EP - 57 PB - VDE-Verlag ER - TY - GEN A1 - Ruffert, Christine A1 - Schenk, Hermann A. G. A1 - Kaiser, Bert A1 - Ehrig, Lutz A1 - Monsalve Guaracao, Jorge Mario A1 - Langa, Sergiu A1 - Wall, Franziska A1 - Melnikov, Anton A1 - Stolz, Michael A1 - Morsk, Andreas A1 - Schuffenhauer, David A1 - Conrad, Holger A1 - Schenk, Harald T1 - Elektrostatischer Gegentakt NED-Aktor für Im-Ohr-µLautsprecher Y1 - 2023 UR - https://publica.fraunhofer.de/entities/publication/af8b72ee-2b53-4478-a964-a9dfb17ac3ad/details U6 - https://doi.org/10.24406/publica-2553 N1 - Im Rahmen der Mittelstandskonferenz 2023 in Berlin präsentiert. ER -