TY - GEN A1 - Ruffert, Christine A1 - Schenk, Hermann A. G. A1 - Kaiser, Bert A1 - Ehrig, Lutz A1 - Monsalve Guaracao, Jorge Mario A1 - Langa, Sergiu A1 - Wall, Franziska A1 - Melnikov, Anton A1 - Stolz, Michael A1 - Morsk, Andreas A1 - Schuffenhauer, David A1 - Conrad, Holger A1 - Schenk, Harald T1 - Elektrostatischer Gegentakt NED-Aktor für Im-Ohr-µLautsprecher Y1 - 2023 UR - https://publica.fraunhofer.de/entities/publication/af8b72ee-2b53-4478-a964-a9dfb17ac3ad/details U6 - https://doi.org/10.24406/publica-2553 N1 - Im Rahmen der Mittelstandskonferenz 2023 in Berlin präsentiert. ER - TY - PAT A1 - Schenk, Harald A1 - Langa, Sergiu T1 - MEMS-Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines MEMS-Bauelements N2 - Ein Verfahren zum Herstellen eines MEMS-Bauelements umfasst ein Bereitstellen eines Halbleitersubstrats, ein Ausführen eines anisotropen nasschemischen Ätzprozesses in dem Halbleitersubstrat, um zumindest ein bewegliches Element aus dem Halbleitersubstrat herauszubilden, und ein Erzeugen eines Schichtstapels, so dass das bewegliche Element in einer Kavität und in einer ersten MEMS-Schicht zwischen einer zweiten MEMS-Schicht und einer dritten MEMS-Schicht angeordnet ist, um mit einem in der Kavität angeordneten Fluid zu interagieren. Y1 - 2023 ER -