TY - CHAP A1 - Conrad, Holger A1 - Ehrig, Lutz A1 - Kaiser, Bert A1 - Schenk, Hermann A1 - Schuffenhauer, David A1 - Stolz, Michael A1 - Gaudet, Matthieu A1 - Schenk, Harald T1 - CMOS-kompatibler MEMS-Lautsprecher für Im-Ohr-Anwendungen T2 - Tagungsband, DAGA 2018, 44. Deutsche Jahrestagung für Akustik, 19.-22. März 2018, München Y1 - 2018 SN - 978-3-939296-13-3 SP - 892 EP - 894 PB - Deutsche Gesellschaft für Akustik e.V. (DEGA) CY - Berlin ER -