TY - CHAP A1 - Hoffmann, Patrick A1 - Böhme, Oliver A1 - Schmeißer, Dieter A1 - Lloyd Spetz, Anita A1 - Mårtenson, Per T1 - Einfluß von Nanopartikeln auf die Funktion von Hochtemperatursensoren T2 - Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft N2 - Es werden Untersuchungen an als Hochtemperatur-Sensoren arbeitenden Schottky-Dioden mit dem Aufbau Metall-Oxidschicht-Siliziumkarbid vorgestellt. Dazu wurden Tiefenprofile mit XPS durch abwechselndes Abtragen durch Sputtern und Messen erstellt. Die Messungen erfolgten an thermisch unterschiedlich vorbehandelten Proben. Dabei konnten dipol-bedingte Verschiebungen der Bindungsenergie von Rumpfniveaus beobachtet werden. Das dazu notwendige Dipol-Moment wird durch das Entstehen von mit einer Oxidschicht überzogenen Nanoteilchen erklärt. Die unterschiedlich ausgeprägten Dipol-Verschiebungen auf den einzelnen Proben erlaubten eine Erklärung der thermischen Vorbehandlung, die bei Weglassen zu „frischen“ und je nach Temperatur zu „aktivierten“ oder „toten“ Sensoren führte. KW - Hochtemperatursensoren KW - Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS) KW - Tiefenprofilierung Y1 - 1999 UR - http://www.dpg-verhandlungen.de/year/1999/conference/muenster/part/o/session/16/contribution/1?lang=en PB - Deutsche Physikalische Gesellschaft CY - Bad Honnef ER -